300毫米晶圓涂層的自動系統(tǒng)

客戶的需求

硅片涂布機自動化

一位為電子和半導體行業(yè)生產(chǎn)粘合劑和涂層設備的客戶要求NOVO設計定制的硅晶片涂層系統(tǒng)，以將UV固化粘合劑涂覆到300mm晶片的一個表面上。該系統(tǒng)包括由輸送機提供服務的三個附加工位：上料，涂布和固化。 NOVO負責設備鑒定和過程驗證。

技術方法

物料處理子系統(tǒng)由一個定制的旋轉器和一個安裝在線性定位系統(tǒng)上的真空吸盤組成。在施加真空并將晶片加速至設定的角速度之前，以傳送帶原始位置為基準的被動對中機構將晶片對中。

然后將旋轉的晶圓推進到涂覆工位，在該工位上，視覺系統(tǒng)確定晶圓的旋轉軸，然后將膠粘劑分配頭自動與此軸對齊?；趤碜远ㄎ痪砻娴膫鞲衅鞯妮斎雭碚{整分配頭的z高度。分配頭配有輔助系統(tǒng)，該輔助系統(tǒng)允許以編程方式指定粘合劑的氣霧化方式，從而可以選擇旋涂或噴涂。在開始涂覆過程之前，自動部署了防風罩和隔室門，以消除相鄰工位，傳送帶和旋轉器的過度噴涂污染。

涂完紫外線固化粘合劑后，將晶片推進固化站，這是經(jīng)過精心設計的紫外線烘箱，經(jīng)過優(yōu)化可在晶片表面提供均勻的強度。調節(jié)轉速，關閉隔室檢修門，使隔室有效地不透光，并開始固化周期。在固化周期完成時，晶片被送回上料/下料站以供操作人員取回。

控制架構是模塊化的；每個工作站都由單獨的工作站控制器控制，工作站由中央PLC控制器排序，該PLC控制器還為觸摸屏UI提供服務。傳感器，限位開關和互鎖裝置可以保護有價值的晶圓并確保操作員安全。遵守SEMI S2和S8標準。

偉大產(chǎn)品背后的工程

從概念設計到交付，該原型在大約三個月內(nèi)成功完成。該系統(tǒng)不僅滿足功能要求，而且符合其生產(chǎn)系統(tǒng)的工業(yè)設計，裝配和完成質量?？蛻舾械綕M意的是，NOVO具有足夠的靈活性，可以在適當?shù)臅r候自主運行，但也可以合并其并發(fā)的設計和過程輸入，并利用現(xiàn)有的適用設計元素。